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热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针

徐 凯 潘 石 吴世法 孙 伟 李银丽

热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针

徐 凯, 潘 石, 吴世法, 孙 伟, 李银丽
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-08-07
  • 修回日期:  2002-09-09
  • 刊出日期:  2003-05-20

热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针

  • 1. 大连理工大学物理系,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60007011,30270367)、国家科技部和中国分析测试协会仪器功能开发基金(批准号:GN-99-15)、教育部博士点基金(批准号:20020141018)资助的课题.

摘要: 提出了原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)系统的关键部分——双功能弯曲光纤探针的制作方法.采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF/PSTM弯曲光纤探针,弯曲角度约为150°,尖端曲率半径优于100nm,锥角范围为60°—90°.将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF/PSTM系统上,同时获得了样品的光学与形貌图像,实现了图像分解.

English Abstract

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