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TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析

张晨辉 雒建斌 李文治 陈大融

TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析

张晨辉, 雒建斌, 李文治, 陈大融
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-03-14
  • 修回日期:  2003-05-30
  • 刊出日期:  2004-01-15

TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析

  • 1. 清华大学摩擦学国家重点实验室,北京 100084
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:90206022)和杰出青年基金(批准号:50025515)资助的课题.

摘要: 使用x射线衍射(XRD)、x射线光电子谱(XPS)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和原子力显微镜(AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1-xSixNy纳米复合薄膜的微观结构.实验分析证明Ti1-xSixNy薄膜是由直径为3—5nm的纳米晶TiN和非晶Si3N4相构成,并且Ti1-xSix

English Abstract

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