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氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态

马丙现 姚 宁 杨仕娥 鲁占灵 樊志勤 张兵临

氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态

马丙现, 姚 宁, 杨仕娥, 鲁占灵, 樊志勤, 张兵临
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-22
  • 修回日期:  2003-12-16
  • 刊出日期:  2004-07-15

氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态

  • 1. 郑州大学物理工程学院,郑州 450052
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19972010)资助的课题.

摘要: 用化学气相沉积方法制备了金刚石薄膜.在制备过程中,通过间歇式关闭甲烷气体,强化了氢对sp2杂化碳原子的刻蚀.用拉曼光谱和金相显微镜对薄膜进行了分析表征.结果表明,氢对sp2杂化碳原子的强化刻蚀并未影响金刚石薄膜的品质和微观结构.这一结论说明,在金刚石薄膜中,sp2杂化碳原子主要存在于金刚石晶粒表面和晶界碳原子之间,而不是以石墨或无定形碳颗粒为主要存在方式.

English Abstract

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