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帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

王洪昌 王占山 李佛生 秦树基 杜芸 王利 张众 陈玲燕

帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

王洪昌, 王占山, 李佛生, 秦树基, 杜芸, 王利, 张众, 陈玲燕
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  • 介绍了在极紫外波段,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作.计算了在139nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率,利用单纯形调优法,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化,同时把分层理论用于多层膜帽层优化,可使多层膜的反射率得到进一步提高.分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:60178021)、上海市科技攻关项目(批准号:022261049)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA847050)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-06-27
  • 修回日期:  2003-11-30
  • 刊出日期:  2004-07-15

帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

  • 1. 同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海 200092
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60178021)、上海市科技攻关项目(批准号:022261049)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA847050)资助的课题.

摘要: 介绍了在极紫外波段,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作.计算了在139nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率,利用单纯形调优法,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化,同时把分层理论用于多层膜帽层优化,可使多层膜的反射率得到进一步提高.分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况.

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