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晶格失配对异质外延超薄膜生长中成核特性的影响

谢 峰 赵特秀 王晓平 石勤伟

晶格失配对异质外延超薄膜生长中成核特性的影响

谢 峰, 赵特秀, 王晓平, 石勤伟
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-18
  • 修回日期:  2003-12-16
  • 刊出日期:  2004-04-05

晶格失配对异质外延超薄膜生长中成核特性的影响

  • 1. (1)中国科学技术大学物理系,合肥 230026; (2)中国科学技术大学物理系,合肥 230026;中国科学院结构分析重点实验室,合肥 230026; (3)中国科学院结构分析重点实验室,合肥 230026
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10274076)资助的课题.

摘要: 利用动力学蒙特卡罗方法模拟了异质外延超薄膜生长中的成核过程.研究了薄膜与衬底的晶格失配对超薄膜生长中成核密度、平均核尺寸、标度关系及生长模式的影响.结果发现产生压(张)应变的晶格负(正)失配使生长过程更早(迟)从成核区进入过渡区,失配越大,这一效应越明显.在相同的沉积条件下,负失配导致超薄膜形成较低的成核密度与较大的平均核尺寸,而正失配则相反.成核密度满足标度关系Ns≈(F/D)χ,随着失配度从-0.04增加到0.02,标度系数χ从0.37逐渐减小到0.33,对应超薄膜生长过程从包含二聚体扩散模式转变到无

English Abstract

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