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丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究

杨武保 王久丽 张谷令 范松华 刘赤子 杨思泽

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丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究

杨武保, 王久丽, 张谷令, 范松华, 刘赤子, 杨思泽

Diamond-like carbon films deposited on optical glass substrate by using ECR microwave acetone plasma CVD method

Yang Wu-Bao, Wang Jiu-Li, Zhang Gu-Ling, Fan Song-Hua, Liu Chi-Zi, Yang Si-Ze
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-10-15
  • 修回日期:  2003-12-01
  • 刊出日期:  2004-09-16

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