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丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究

王久丽 张谷令 范松华 刘赤子 杨思泽 杨武保

丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究

王久丽, 张谷令, 范松华, 刘赤子, 杨思泽, 杨武保
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-10-15
  • 修回日期:  2003-12-01
  • 刊出日期:  2004-09-16

丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究

  • 1. (1)中国科学院物理研究所,北京 100080; (2)中国科学院物理研究所,北京 100080;石油大学(北京)材料科学与工程系,北京 102249
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50071068)资助的课题.

摘要: 利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体辅助化学气相沉积技术、工作气氛为丙酮,在光学玻璃衬底上得到了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.在工艺研究中,对等离子体中氧的存在及其作用进行了分析.原子力显微镜分析表明,薄膜的表面粗糙度小于10nm,晶粒 尺寸约为100nm.拉曼光谱和中红吸收谱研究发现,薄膜具有强烈的荧光效应,含有sp1,sp2,sp3杂化C—C,sp3杂化CH3,羰基CO、含氧多元 环以及—COOH基等.利用纳米力学探针以 及近红区红外透射谱分析了薄膜的力学及光学性能,结果表明,薄膜的显微硬度接近4

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