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热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

宋永梁 季振国 刘 坤 王 超 向 因 叶志镇

热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

宋永梁, 季振国, 刘 坤, 王 超, 向 因, 叶志镇
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-04-11
  • 修回日期:  2003-05-21
  • 刊出日期:  2004-01-05

热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州 310027
    基金项目: 

    国家重点基础研究专项(No.G2000 0683-06)和国家自然科学基金重大项目(批准号:90201038)资助的课题.

摘要: 采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析.结果表明,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构,其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系.当热处理温度小于550℃时,氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰,而可见波段的发射很弱;当热处理温度高于550℃时,可见波段发射明显增强.对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明,氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系,时间过短可见波段的发射较强,但时间过长会导致晶

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