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类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性

张 兰 马会中 李会军 杨仕娥 姚 宁 胡欢陵 张兵临

类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性

张 兰, 马会中, 李会军, 杨仕娥, 姚 宁, 胡欢陵, 张兵临
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  • 利用微波等离子体增强化学气相沉积技术制备出了CNx薄膜,并利用x射线光电子能谱、x射线衍射、扫描电子显微镜和Raman光谱等测试手段对所制备的CNx薄膜的微结构和成分进行了分析.研究了其场致电子发射特性.发现薄膜的结构和场发射特性与反应系中的甲烷、氮气及氢气的流量比有关,当甲烷、氢气及氮气流量比为8/50/50 sccm时,制备的薄膜具有弯曲层状的纳米石墨晶体结构(类富勒烯结构)和很好的场发射特性.场发射阈值电场降低至1.1V/μm.当电场为5.9V/μm时,平
    • 基金项目: 国家高技术研究发展计划新材料领域(批准号:715-002-0042)和国家自然科学基金(批准号:60278035)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-03-12
  • 修回日期:  2003-06-18
  • 刊出日期:  2004-03-15

类富勒烯纳米晶CNx薄膜及其场致电子发射特性

  • 1. (1)郑州大学工程力学系,郑州 450002; (2)郑州大学工程力学系,郑州 450002;中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥 230031; (3)郑州大学物理工程学院,郑州 450052; (4)中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥 230031
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划新材料领域(批准号:715-002-0042)和国家自然科学基金(批准号:60278035)资助的课题.

摘要: 利用微波等离子体增强化学气相沉积技术制备出了CNx薄膜,并利用x射线光电子能谱、x射线衍射、扫描电子显微镜和Raman光谱等测试手段对所制备的CNx薄膜的微结构和成分进行了分析.研究了其场致电子发射特性.发现薄膜的结构和场发射特性与反应系中的甲烷、氮气及氢气的流量比有关,当甲烷、氢气及氮气流量比为8/50/50 sccm时,制备的薄膜具有弯曲层状的纳米石墨晶体结构(类富勒烯结构)和很好的场发射特性.场发射阈值电场降低至1.1V/μm.当电场为5.9V/μm时,平

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