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利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究

竹川仁士 齐藤弥八 李振华 王 淼

利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究

竹川仁士, 齐藤弥八, 李振华, 王 淼
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-04-01
  • 修回日期:  2003-06-11
  • 刊出日期:  2004-03-15

利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究

  • 1. (1)日本三重大学工学部,津 514-8507; (2)浙江大学力学系,杭州 310027; (3)浙江大学物理系,杭州 310027;日本三重大学工学部,津 514-8507
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 60271009)及浙江省自然科学基金(批准号:501109)资助的课题.

摘要: 利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管.经扫描电子显微镜观察与分析,发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列,管径较均匀且长度基本相同.

English Abstract

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