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靶材吸收率变化与烧蚀过程熔融前靶材温度分布

张端明 李 莉 李智华 关 丽 侯思普 谭新玉

靶材吸收率变化与烧蚀过程熔融前靶材温度分布

张端明, 李 莉, 李智华, 关 丽, 侯思普, 谭新玉
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-01-17
  • 修回日期:  2004-04-12
  • 刊出日期:  2005-03-17

靶材吸收率变化与烧蚀过程熔融前靶材温度分布

  • 1. 华中科技大学物理系,武汉 430074
    基金项目: 

    武汉市晨光计划项目(批准号:2004500607140)、湖北省自然科学基金(批准号:2001ABB099)、湖北省教育厅重点科技项目基金(批准号:2000B5002)和国家自然科学基金(批准号:50272022)资助的课题.

摘要: 讨论了脉冲激光沉积法中烧蚀阶段熔融前靶材吸收率的变化对于其温度分布的影响. 给出了靶材吸收率随时间的变化规律,并在此基础上,利用较为符合实际的高斯分布表示脉冲激光输入能量密度,建立了相应的热传导方程. 结合适当的边界条件,利用有限差分法,以硅靶材和钨靶材为例,给出了靶材熔融前温度分布随时间和深度变化的演化分布规律,同时对相关过程的物理图像进行详细的讨论.对于吸收率的变化与脉冲激光能量密度的分布对于相应过程的影响,进行了分析讨论. 结果表明,在脉冲激光中间的持续过程中,忽略靶材吸收率的变化对于最终的模拟结果有重要影响,从而导致理论结果与实验数据有较大差异.

English Abstract

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