搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

刘元富 韩建民 张谷令 王久丽 陈光良 李雪明 冯文然 范松华 刘赤子 杨思泽

脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

刘元富, 韩建民, 张谷令, 王久丽, 陈光良, 李雪明, 冯文然, 范松华, 刘赤子, 杨思泽
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  3632
  • PDF下载量:  685
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-12
  • 修回日期:  2004-05-27
  • 刊出日期:  2005-03-17

脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti, Al)N薄膜组织及其性能研究

  • 1. (1)北京交通大学机械与电子控制工程学院,北京 100044; (2)北京交通大学机械与电子控制工程学院,北京 100044;中国科学院物理研究所,北京 100080; (3)北京科技大学材料科学与工程学院,北京 100083; (4)中国科学院物理研究所,北京 100080
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2002A331020)和国家自然科学基金(批准号:50071068和10275088)资助的课题.

摘要: 利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在45#钢基材表面沉积了高硬度耐腐蚀(Ti, Al)N薄膜. 利用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱分析了薄膜的显微组织.利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度.测试了薄膜在05mol/L H2SO4水溶液中的耐蚀性. 测试结果表明:薄膜主要组成相为(Ti, Al)N,同时含有少量的AlN,薄膜的纳米硬度高达26 GPa,薄膜具有良好的耐蚀性,与1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢相比,耐蚀性提高了一个数量级.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回