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电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量

何 威 蒲以康 陈 卓

电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量

何 威, 蒲以康, 陈 卓
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-06-28
  • 修回日期:  2004-08-30
  • 刊出日期:  2005-05-10

电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量

  • 1. (1)清华大学工程物理系,北京 100084; (2)清华大学工程物理系,北京 100084;北京理工大学物理系,北京 100081
    基金项目: 

    国家自然科学基金重点项目(批准号:10335040)资助的课题.

摘要: 测量了电子回旋共振(ECR)氩等离子体中Ar的1s5亚稳态粒子数密度,在气压 为02—0 8 Pa、功率为500—700W的范围内,利用吸收光谱法测量了Ar原子8115 nm谱线的吸收强 度,得到1s5亚稳态粒子数密度为1×1015—4×1015 m -3.本文综合考 虑基态和1s5亚稳态粒子的激发对Ar发射谱线强度的贡献后,用两条发射谱线强 度之比得 到电子温度.结果表明,计入了1s5亚稳态激发的贡献后,所得到的电子温度与 只考虑基态的贡献得到的电子温度相比存在较大的差别.

English Abstract

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