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改进的DLA方法模拟薄膜二维生长

谢国锋 王德武 应纯同

改进的DLA方法模拟薄膜二维生长

谢国锋, 王德武, 应纯同
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-19
  • 修回日期:  2004-09-23
  • 刊出日期:  2005-05-10

改进的DLA方法模拟薄膜二维生长

  • 1. 清华大学工程物理系,北京 100084

摘要: 对经典的DLA模型进行改进,研究了薄膜的二维生长过程.通过改变表征吸附原子在基底扩散 能力的参量DT,DC以及表征沉积速率的参量DV,得到 了与实验一致的薄 膜分形生长模式和团状生长模式.分析了薄膜的形核阶段原子团的大小分布,以及不同条件 下原子团的数目和大小随覆盖度的变化.

English Abstract

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