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微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

高 鹏 徐 军 邓新绿 王德和 董 闯

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微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

高 鹏, 徐 军, 邓新绿, 王德和, 董 闯

Structure and tribology properties of diamond-like carbon films prepared by microwave electron cyclotron resonance plasma source ion implantation

Gao Peng, Xu Jun, Deng Xin-Lu, Wang De-He, Dong Chuang
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-21
  • 修回日期:  2004-09-17
  • 刊出日期:  2005-07-07

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