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微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

高 鹏 徐 军 邓新绿 王德和 董 闯

微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

高 鹏, 徐 军, 邓新绿, 王德和, 董 闯
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-21
  • 修回日期:  2004-09-17
  • 刊出日期:  2005-07-07

微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50390060和50135040)资助的课题.

摘要: 利用微波ECR全方位离子注入技术,在单晶硅(100)衬底上制备类金刚石薄膜.分析结果表明,所制备的类金刚石碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,摩擦系数小.其中,薄膜的结构和性能与氢流量比关系密切,随氢流量比的增加,薄膜的沉积速率减小,表面粗糙度降低,且生成sp3键更加趋向于金刚石结构,表面能 更低,从而使摩擦系数大幅降低.

English Abstract

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