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激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响

金曾孙 赵立新 彭鸿雁 周传胜 张 冰 陈宝玲 陈玉强 李敏君

激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响

金曾孙, 赵立新, 彭鸿雁, 周传胜, 张 冰, 陈宝玲, 陈玉强, 李敏君
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-08-06
  • 修回日期:  2005-02-03
  • 刊出日期:  2005-09-20

激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响

  • 1. (1)吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春 130012; (2)牡丹江大学,牡丹江 157011; (3)牡丹江师范学院物理系,牡丹江 157011

摘要: 采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了激光功率密度对膜的结构和性能的影响,分析了膜的紫外可见透过谱及膜的带隙结构、Raman谱和电子衍射图,结果表明随着激光功率密度由108W/cm2提高至1010 W/cm2,膜的结构也由无定形非晶结构转变为纳米晶金刚石结构,膜 中的sp3键舍量及各项性能均有提高.

English Abstract

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