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溶胶-凝胶法制备(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜及其结构和介电性质研究

贾建峰 黄 凯 潘清涛 贺德衍

溶胶-凝胶法制备(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜及其结构和介电性质研究

贾建峰, 黄 凯, 潘清涛, 贺德衍
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-10-10
  • 修回日期:  2005-03-18
  • 刊出日期:  2005-09-20

溶胶-凝胶法制备(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜及其结构和介电性质研究

  • 1. 兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000
    基金项目: 

    高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划资助的课题

摘要: 采用改进的溶胶-凝胶方法在单晶Si(100)衬底上制备了介电性能优异的(Ba0.7Sr0.3)TiO3/LaNiO3异质薄膜.实验发现,在750 ℃下 、O2气氛中晶化的LaNiO3薄膜的电阻率最小.C-V与I-V特性测量表明(Ba0.7Sr0.3)TiO3薄膜具有优异的介电性能,在频率为50kHz、零偏压下的相对介电常数εr>300,偏压为6V时漏电流密度JL-6A/cm2.

English Abstract

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