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高温快速退火对重掺锑硅单晶中流动图形缺陷的影响

周旗钢 王 敬 刘彩池 孙卫忠 张建强 孙世龙 赵丽伟 张建峰 郝秋艳

高温快速退火对重掺锑硅单晶中流动图形缺陷的影响

周旗钢, 王 敬, 刘彩池, 孙卫忠, 张建强, 孙世龙, 赵丽伟, 张建峰, 郝秋艳
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-01-27
  • 修回日期:  2005-03-14
  • 刊出日期:  2005-05-05

高温快速退火对重掺锑硅单晶中流动图形缺陷的影响

  • 1. (1)北京有色金属研究总院,北京 100088; (2)河北工业大学信息功能材料研究所,天津 300130; (3)天津大学电信学院,天津 300072;河北工业大学信息功能材料研究所,天津 300130
    基金项目: 

    国家自然科学基金(No.60076001,50032010)、天津市自然科学基金、河北省自然科学基 金和河北省教育厅基金资助的课题.

摘要: 对大直径重掺锑硅单晶中流动图形缺陷(FPDs)进行了研究.利用高温快速退火工艺(RTA) ,将重掺锑硅片在N2,Ar,H2三种不同气氛下进行热处理,对退 火前后FPDs的密度变化进行了研究,分析了重掺锑硅单晶中FPDs在不同高温RTA过程中的热 稳定性.并从重掺杂原子锑与间隙氧之间的关系,分析了重掺锑硅片中FPDs在高温快速退火 工艺下的消除机制,认为重掺锑硅单晶中大量的锑原子,影响了硅片中间隙氧的浓度分布, 进而影响了原生微缺陷的形成及热行为.

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