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多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断

辛 煜 狄小莲 虞一青 宁兆元

多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断

辛 煜, 狄小莲, 虞一青, 宁兆元
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-11-28
  • 修回日期:  2005-12-15
  • 刊出日期:  2006-07-20

多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断

  • 1. 苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料重点实验室,苏州 215006
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10305008)资助的课题.

摘要: 基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体,研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联,并将实验结果应用到多组并联螺旋天线感应耦合等离子体放电体系中.采用了改进的朗谬尔探针方法对单源和多源感应耦合等离子体的电参量分别进行了表征.结果表明,使用多螺旋天线并联方式可以产生低气压高密度的感应耦合等离子体放电,通过调整工艺参量,可以将等离子体密度和光刻胶的刻蚀均匀性控制在80%以上.

English Abstract

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