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铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究

王 静 刘贵昌 汲大鹏 徐 军 邓新禄

铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究

王 静, 刘贵昌, 汲大鹏, 徐 军, 邓新禄
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-10-30
  • 修回日期:  2006-01-13
  • 刊出日期:  2006-07-20

铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究

  • 1. (1)大连理工大学化工学院,大连 116012; (2)大连理工大学三束改性国家重点实验室,大连 116012

摘要: 将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构特征.检测结果表明,随着沉积偏压的增大,D峰和G峰均向高波数漂移,ID/IG值增大,表面粗糙度减小,而平均硬度和弹性模量呈先增大后减小的趋势.

English Abstract

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