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具有非均匀渐变界面DBR的光学特性分析

王小东 吴旭明 王 青 曹玉莲 何国荣 谭满清

具有非均匀渐变界面DBR的光学特性分析

王小东, 吴旭明, 王 青, 曹玉莲, 何国荣, 谭满清
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-02-22
  • 修回日期:  2006-03-13
  • 刊出日期:  2006-10-01

具有非均匀渐变界面DBR的光学特性分析

  • 1. 中国科学院半导体研究所,北京 100083
    基金项目: 

    国家863计划项目(批准号:2001AA312180)资助的课题.

摘要: 应用特征矩阵法研究了非均匀渐变界面Al0.9Ga0.1As/AlyGa1-yAs/GaAs/AlxGa1-xAs DBR的光学特性.建立了非均匀渐变界面AlyGa1-yAs的折射率模型,并得到了渐变界面特征矩阵的解析解,通过特征矩阵法分别计算了突变GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR和渐变DBR的反射谱和反射相移,分析了非均匀渐变层对DBR光学特性的影响,对渐变DBR,需要在DBR前面再增加一定厚度的非均匀渐变相位匹配层才能使整个DBR满足中心波长相位匹配条件,并通过光学厚度近似方法求出相位匹配层厚度.

English Abstract

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