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斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析

沈自才 孔伟金 刘世杰 沈 建 邵建达 范正修

斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析

沈自才, 孔伟金, 刘世杰, 沈 建, 邵建达, 范正修
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-10-26
  • 修回日期:  2006-01-18
  • 刊出日期:  2006-05-05

斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析

  • 1. (1)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100039

摘要: 斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法,它可以用来制备渐变折射率薄膜.本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α,薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数;之后利用drude理论,分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系.

English Abstract

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