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(111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究

王志红 黄惠东 李言荣 刘 洪 蒲朝辉 龚小刚 肖定全 朱建国

(111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究

王志红, 黄惠东, 李言荣, 刘 洪, 蒲朝辉, 龚小刚, 肖定全, 朱建国
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-03-03
  • 修回日期:  2006-04-25
  • 刊出日期:  2006-11-20

(111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究

  • 1. (1)电子科技大学微电子与固体电子学院,成都 610054; (2)四川大学材料科学与工程学院,成都 610064
    基金项目: 

    国家自然科学重点基金(批准号:50132020),国家自然科学基金(批准号:60471044)和国家安全重大基础研究计划(批准号:Z06-1)资助的课题.

摘要: 采用射频磁控溅射技术在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上生长了掺镧钛酸铅(PLT)铁电薄膜.用X射线衍射技术(XRD)研究了PLT薄膜结晶性能,结果表明PLT薄膜为 (111)择优取向钙钛矿相织构.使用原子力显微镜(AFM)和压电响应力显微镜(PFM) 分别观察了PLT薄膜的表面形貌和对应区域的电畴结构.PFM观察显示PLT薄膜中存在90°纳米带状畴,电畴的极化为首尾相接的低能量的排列方式,带状畴的宽度为20—60nm.研究了PLT10铁电薄膜的制备条件与性能之间的关系.发现在优化条件下制备的PLT10铁电薄膜的介电常数εr为365、介电损耗tgδ为0.02,热释电系数γ为2.18×10-8C·(cm2·K)-1,可以满足制备非制冷红外探测器的需要.

English Abstract

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