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溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO:In薄膜的结构特性

兰 伟 刘雪芹 黄春明 唐国梅 杨 扬 王印月

溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO:In薄膜的结构特性

兰 伟, 刘雪芹, 黄春明, 唐国梅, 杨 扬, 王印月
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  • 采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210—240nm厚度的ZnO∶In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI_XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI_XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,对不同掺杂浓度的ZnO∶In薄膜进行了结构分析.发现ZnO∶In薄膜内部是由大尺寸(002)晶向的无应力ZnO晶粒堆积而成,而薄膜表面主要是小尺寸的(002)和(103)晶粒,并且适量的In掺杂能有效改善ZnO薄膜内部的晶体结构特性.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50272027)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-02-04
  • 修回日期:  2005-06-21
  • 刊出日期:  2006-01-05

溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO:In薄膜的结构特性

  • 1. (1)兰州大学物理系,兰州 730000; (2)西北民族大学计算机科学与信息工程学院,兰州 730030
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50272027)资助的课题.

摘要: 采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210—240nm厚度的ZnO∶In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI_XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI_XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,对不同掺杂浓度的ZnO∶In薄膜进行了结构分析.发现ZnO∶In薄膜内部是由大尺寸(002)晶向的无应力ZnO晶粒堆积而成,而薄膜表面主要是小尺寸的(002)和(103)晶粒,并且适量的In掺杂能有效改善ZnO薄膜内部的晶体结构特性.

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