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反应磁控溅射ZnO/MgO多量子阱的光致荧光光谱分析

辛 萍 秦福文 孙成伟 张庆瑜 文胜平

反应磁控溅射ZnO/MgO多量子阱的光致荧光光谱分析

辛 萍, 秦福文, 孙成伟, 张庆瑜, 文胜平
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-16
  • 修回日期:  2006-07-27
  • 刊出日期:  2007-01-05

反应磁控溅射ZnO/MgO多量子阱的光致荧光光谱分析

  • 1. (1)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024; (2)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024;半导体材料科学重点实验室中国科学院半导体研究所,北京 100083; (3)清华大学材料科学与工程系,北京 100084
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10605009)资助的课题.

摘要: 采用反应射频磁控溅射方法,在Si(001)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO/MgO多量子阱.利用X射线反射、X射线衍射、电子探针,光致荧光光谱等表征技术,研究了ZnO/MgO多量子阱的结构、成份和光致荧光特性.研究结果表明,多量子阱的调制周期在1.85—22.3 nm之间,所制备的多量子阱具有量子限域效应,导致了室温光致荧光峰的蓝移,并观测到了量子隧穿效应引起的荧光效率下降.建立了基于多声子辅助激子复合跃迁理论的室温光致荧光光谱优化拟合方法,通过室温光致荧光光谱拟合发现,ZnO/MgO比ZnO/ZnMgO多量子阱具有更大的峰位蓝移,探讨了导致光致荧光光谱展宽的可能因素.

English Abstract

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