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使用热蒸发技术在锗(111)衬底上制备了氟化铒(ErF3)薄膜. XRD衍射结果表明,随着衬底温度的增加,氟化铒薄膜发生了从非晶状态到结晶状态的转变,薄膜的表面形貌和红外光学性能也发生了显著的变化,部分结晶的氟化铒薄膜的远红外透射谱和完全非晶的薄膜基本一致,但是与结晶薄膜则没有相似之处. 晶格常数计算表明薄膜中存在压应力. 使用洛伦兹谐振子模型对薄膜的透射率曲线进行拟合计算,得到ErF3薄膜的折射率和消光系数. 在10μm处非晶薄膜的折射率和消光系数最小值分别为1.38和0.01,结晶薄膜的折射率和消光系数最小值分别为1.32和0.006.
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