| [1] |
何素明, 戴珊珊, 罗向东, 张波, 王金斌. 等离子体增强化学气相沉积工艺制备SiON膜及对硅的钝化. 物理学报,
2014, 63(12): 128102.
doi: 10.7498/aps.63.128102
|
| [2] |
方家, 李双亮, 许盛之, 魏长春, 赵颖, 张晓丹. 高速微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体稳态研究. 物理学报,
2013, 62(16): 168103.
doi: 10.7498/aps.62.168103
|
| [3] |
李新利, 谷锦华, 高海波, 陈永生, 郜小勇, 杨仕娥, 卢景霄, 李瑞, 焦岳超. 椭圆偏振光谱实时在线监测与离线分析微晶硅薄膜的生长. 物理学报,
2012, 61(3): 036802.
doi: 10.7498/aps.61.036802
|
| [4] |
侯国付, 薛俊明, 袁育杰, 张晓丹, 孙建, 陈新亮, 耿新华, 赵颖. 高压射频等离子体增强化学气相沉积制备高效率硅薄膜电池的若干关键问题研究. 物理学报,
2012, 61(5): 058403.
doi: 10.7498/aps.61.058403
|
| [5] |
高海波, 李瑞, 卢景霄, 王果, 李新利, 焦岳超. 分步法高速沉积微晶硅薄膜. 物理学报,
2012, 61(1): 018101.
doi: 10.7498/aps.61.018101
|
| [6] |
李天微, 刘丰珍, 朱美芳. 射频激发热丝化学气相沉积制备硅薄膜过程中光发射谱的研究. 物理学报,
2011, 60(1): 018103.
doi: 10.7498/aps.60.018103
|
| [7] |
郑新霞, 张晓丹, 杨素素, 王光红, 许盛之, 魏长春, 孙建, 耿新华, 熊绍珍, 赵颖. 单室沉积非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池的研究. 物理学报,
2011, 60(6): 068801.
doi: 10.7498/aps.60.068801
|
| [8] |
丁艳丽, 朱志立, 谷锦华, 史新伟, 杨仕娥, 郜小勇, 陈永生, 卢景霄. 沉积速率对甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜生长标度行为的影响. 物理学报,
2010, 59(2): 1190-1195.
doi: 10.7498/aps.59.1190
|
| [9] |
卢鹏, 侯国付, 袁育杰, 杨瑞霞, 赵颖. n型掺杂层结构对n-i-p型微晶硅电池性能和光致衰退特性的影响. 物理学报,
2010, 59(6): 4330-4336.
doi: 10.7498/aps.59.4330
|
| [10] |
彭文博, 刘石勇, 肖海波, 张长沙, 石明吉, 曾湘波, 徐艳月, 孔光临, 俞育德. 微晶硅薄膜带隙态及微结构的研究. 物理学报,
2009, 58(8): 5716-5720.
doi: 10.7498/aps.58.5716
|
| [11] |
张勇, 刘艳, 吕斌, 汤乃云, 王基庆, 张红英. 前端接触势垒高度对非晶硅和微晶硅异质结太阳电池的影响. 物理学报,
2009, 58(4): 2829-2835.
doi: 10.7498/aps.58.2829
|
| [12] |
孙福河, 张晓丹, 王光红, 许盛之, 岳强, 魏长春, 孙建, 耿新华, 熊绍珍, 赵颖. 硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响. 物理学报,
2009, 58(2): 1293-1297.
doi: 10.7498/aps.58.1293
|
| [13] |
韩晓艳, 耿新华, 侯国付, 张晓丹, 李贵君, 袁育杰, 魏长春, 孙建, 张德坤, 赵颖. 高速沉积微晶硅薄膜光发射谱的研究. 物理学报,
2009, 58(2): 1344-1347.
doi: 10.7498/aps.58.1344
|
| [14] |
韩晓艳, 侯国付, 魏长春, 张晓丹, 戴志华, 李贵君, 孙建, 陈新亮, 张德坤, 薛俊明, 赵颖, 耿新华. 高速沉积本征微晶硅的优化及其在太阳电池中的应用. 物理学报,
2009, 58(6): 4254-4259.
doi: 10.7498/aps.58.4254
|
| [15] |
郭学军, 卢景霄, 陈永生, 张庆丰, 文书堂, 郑 文, 申陈海, 陈庆东. 甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究. 物理学报,
2008, 57(9): 6002-6006.
doi: 10.7498/aps.57.6002
|
| [16] |
侯国付, 薛俊明, 孙 建, 郭群超, 张德坤, 任慧志, 赵 颖, 耿新华, 李乙钢. 高压PECVD技术沉积硅基薄膜过程中硅烷状态的研究. 物理学报,
2007, 56(2): 1177-1181.
doi: 10.7498/aps.56.1177
|
| [17] |
余云鹏, 林璇英, 林舜辉, 黄 锐. 光照和偏压对微晶硅薄膜室温电导的影响. 物理学报,
2006, 55(4): 2038-2043.
doi: 10.7498/aps.55.2038
|
| [18] |
郜小勇, 李 瑞, 陈永生, 卢景霄, 刘 萍, 冯团辉, 王红娟, 杨仕娥. 微晶硅薄膜的结构及光学性质的研究. 物理学报,
2006, 55(1): 98-101.
doi: 10.7498/aps.55.98
|
| [19] |
张晓丹, 赵 颖, 高艳涛, 朱 锋, 魏长春, 孙 建, 王 岩, 耿新华, 熊绍珍. 甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究. 物理学报,
2005, 54(4): 1899-1903.
doi: 10.7498/aps.54.1899
|
| [20] |
张晓丹, 赵 颖, 朱 锋, 魏长春, 吴春亚, 高艳涛, 侯国付, 孙 建, 耿新华, 熊绍珍. VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究. 物理学报,
2005, 54(1): 445-449.
doi: 10.7498/aps.54.445
|
下载:
