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真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究

杨 涓 刘文一 朱国强 毛根旺

真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究

杨 涓, 刘文一, 朱国强, 毛根旺
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-20
  • 修回日期:  2005-09-05
  • 刊出日期:  2007-01-08

真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究

  • 1. 西北工业大学航天学院,西安 710072
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10575081)资助的课题.

摘要: 为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度,利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明,当真空环境压强为2—6 Pa、等离子体发生器以60 W以下的微波功率击穿流量范围是42—106 mg/s的氩气时,所产生的微波等离子体喷流中电子数密度分布在1×1016—7.2×1016/m3范围内.

English Abstract

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