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一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构

虞益挺 苑伟政 乔大勇 梁 庆

一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构

虞益挺, 苑伟政, 乔大勇, 梁 庆
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-01-18
  • 修回日期:  2007-01-29
  • 刊出日期:  2007-10-20

一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构

  • 1. 西北工业大学微/纳米系统实验室,西安 710072
    基金项目: 

    教育部高等学校科技创新工程(批准号:706055)、教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-05-0869)、西安应用材料创新基金(批准号:XA-AM-200610)和西北工业大学博士论文创新基金(批准号:CX200611)资助的课题.

摘要: 提出了一种利用临界屈曲法在线测量微机械薄膜残余应力的新结构,并采用表面微加工技术制作了两种测试样品.搭建了在线观测实验装置来实时监控释放过程中结构出现的临界屈曲变形模态,由此判断出结构内部的应力状态,同时在测得临界刻蚀深度的情况下,采用有限元方法计算出残余应力大小.借助有限元方法,先研究了多个参数对临界屈曲应力的影响,然后利用这种新结构对薄膜残余应力进行了实际测量,所得结果与微旋转结构的应力测量结果基本吻合.分析及实验表明,新结构在测量薄膜残余应力方面有许多优点,具有较高的实用价值,不仅能满足大量程的应力检测要求,而且只用一个结构就可以同时测量压应力和拉应力,从而极大提高了器件版图空间的利用率.

English Abstract

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