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聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

许兴胜 熊志刚 金爱子 陈弘达 张道中

聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

许兴胜, 熊志刚, 金爱子, 陈弘达, 张道中
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-07
  • 修回日期:  2006-09-18
  • 刊出日期:  2007-01-05

聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

  • 1. (1)中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室,北京 100083; (2)中国科学院物理研究所,北京 100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60345008,60377011,60537010)资助的课题.

摘要: 介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果,发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合;测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱. 实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件.

English Abstract

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