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热舟蒸发LaF3薄膜的紫外性能研究

尚淑珍 赵祖欣 邵建达 范正修

热舟蒸发LaF3薄膜的紫外性能研究

尚淑珍, 赵祖欣, 邵建达, 范正修
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-10-19
  • 修回日期:  2007-12-10
  • 刊出日期:  2008-03-20

热舟蒸发LaF3薄膜的紫外性能研究

  • 1. (1)华东理工大学机械与动力工程学院,上海 200237; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
    基金项目: 

    上海市重点学科建设项目(批准号:B503)资助的课题.

摘要: 研究了沉积温度对热舟蒸发氟化镧薄膜结构和光学性能的影响,沉积温度从200℃上升到350℃,间隔为50℃.采用分光光度计测量了样品的透射率和反射率光谱曲线,并在此基础上进行了光学损耗、光学常数以及带隙和截止波长的计算.采用表面轮廓仪进行了表面形貌和表面粗糙度的标定,采用X射线衍射(XRD)方法测量了不同沉积温度下样品的微结构.发现在短波长波段,随着沉积温度的升高,光学损耗增加,晶粒尺寸增大,表面粗糙度略有增加.不过散射损耗在光学损耗中所占比例均很小,光学损耗的增加主要由吸收损耗引起.随着沉积温度的升高,折射

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