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低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程

李维勤 张海波

低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程

李维勤, 张海波
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-18
  • 修回日期:  2007-10-17
  • 刊出日期:  2008-05-28

低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程

  • 1. 西安交通大学电子科学与技术系教育部电子物理与器件重点实验室,西安 710049
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60476018)资助的课题.

摘要: 为揭示低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程及其机理,建立了同时考虑电子散射与电子输运的计算模型,综合Monte Carlo方法和有限差分法进行了数值模拟,获得了内部空间电荷、泄漏电流和表面电位随电子束照射的演化规律.结果表明,入射电子因迁移、扩散效应会超越通常的散射区域产生负空间电荷分布,并经过一定的渡越时间后到达接地基板,形成泄漏电流,负带电暂态过程则随着泄漏电流的增加而趋于平衡.在平衡状态下,泄漏电流随电子束能量和电流而增大;薄膜净负电荷量和表面电位随膜厚而增加、随电子迁移率的增大而降低,随着电子束

English Abstract

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