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扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

郑小平 范多旺 张佩峰

扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

郑小平, 范多旺, 张佩峰
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-04-04
  • 修回日期:  2007-05-30
  • 刊出日期:  2008-01-15

扩散理论对RLA模型中交换作用的研究

  • 1. (1)兰州城市学院电子信息科学与技术研究所,兰州 730070;兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州 730070; (2)兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州 730070; (3)兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州 730070;兰州大学数学与统计学院,兰州 730000
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10574059)、甘肃省自然科学基金(批准号:0710RJZA074)、兰州交通大学“青蓝”人才工程计划、光电技术与智能控制教育部重点实验室开放基金(批准号:K040101)和中国博士后科学基金资助的课题.

摘要: 以扩散理论为基础,建立以“基本微观过程” 为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的“交换作用”只是若干个“基本微观过程”的组合,大多数交换不是位置的“完全交换”,交换比也并非恒为1.

English Abstract

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