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甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

葛 洪 张晓丹 岳 强 赵 颖 赵 静

甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

葛 洪, 张晓丹, 岳 强, 赵 颖, 赵 静
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-12
  • 修回日期:  2008-03-06
  • 刊出日期:  2008-08-20

甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究

  • 1. (1)南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071; (2)天津新华职工大学,天津 300040
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展规划 (批准号:2006CB202602, 2006CB202603)、国家自然科学基金(批准号:60506003)、科学技术部国际合作计划重点项目(批准号:2006DFA62390)和国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436) 资助的课题.

摘要: 采用二维准平面电路模型研究了甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)大面积平行板电极间真空电势差分布.计算结果表明:随平行板电极尺寸增加和激发频率提高,电势驻波效应成为影响电极间电势差非均匀分布的重要因素.在尺寸为1.2m×0.8m的大面积平行板电极上应用40.68和60MHz两种激发频率,通过功率馈入点数量和位置优化,计算获得非均匀性分别为±2.5%和±5.5%的真空电势差分布.这些数值计算结果为大面积平行板电极在VHF-PECVD中应用提供了重要的理论指导.

English Abstract

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