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高温退火对蓝宝石基片的表面形貌和对CeO2缓冲层以及Tl-2212超导薄膜生长的影响

谢清连 阎少林 赵新杰 方 兰 季 鲁 张玉婷 游石头 李加蕾 张 旭 周铁戈 左 涛 岳宏卫

高温退火对蓝宝石基片的表面形貌和对CeO2缓冲层以及Tl-2212超导薄膜生长的影响

谢清连, 阎少林, 赵新杰, 方 兰, 季 鲁, 张玉婷, 游石头, 李加蕾, 张 旭, 周铁戈, 左 涛, 岳宏卫
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-05-23
  • 修回日期:  2007-06-05
  • 刊出日期:  2008-01-15

高温退火对蓝宝石基片的表面形貌和对CeO2缓冲层以及Tl-2212超导薄膜生长的影响

  • 1. 南开大学信息技术科学学院电子信息科学与技术系,天津 300071
    基金项目: 

    本项工作受到国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2006CB601006)、国家高技术研究发展计划(863)新材料领域(批准号:2006AA03Z213)和高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20050055028)资助的课题.

摘要: 研究了蓝宝石(1102)基片在不同温度和时间下退火时表面形貌和表面相结构的变化,以及它对CeO2缓冲层和Tl-2212超导薄膜生长的影响.原子力显微镜(AFM)研究表明,在流动氧环境中1000℃温度下退火,蓝宝石(1102)的表面首先局部区域形成台阶结构,然后表面形成叠层台阶结构,随着退火时间的延长,表面发生了台阶合并现象,表面形貌最终演化为稳定的具有光滑平台的宽台阶结构.XRD测试表明,通过高温热处理可以大幅度提高蓝宝石基片表面结构的完整性.在1000℃温度下热处理20 h的蓝宝石

English Abstract

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