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Co:BaTiO3/Si(100)纳米复合薄膜制备、微结构及其紫外光电子能谱研究

巨 新 孙卫国 吴卫东 何英杰 王 锋 白 黎 唐永建 詹勇军 陈正豪 潘海斌

Co:BaTiO3/Si(100)纳米复合薄膜制备、微结构及其紫外光电子能谱研究

巨 新, 孙卫国, 吴卫东, 何英杰, 王 锋, 白 黎, 唐永建, 詹勇军, 陈正豪, 潘海斌
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-11-27
  • 修回日期:  2007-05-21
  • 刊出日期:  2008-01-15

Co:BaTiO3/Si(100)纳米复合薄膜制备、微结构及其紫外光电子能谱研究

  • 1. (1)南京大学物理系,南京 210093; (2)四川大学原子与分子物理研究所,成都 610064; (3)四川大学原子与分子物理研究所,成都 610064;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900; (4)中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900; (5)中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充 637002; (6)中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900;中国科学院物理研究所,北京 100080; (7)中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥 230029

摘要: 采用脉冲激光气相沉积(PLD)方法,在Si(100)晶面上制备了Co:BaTiO3纳米复合薄膜.采用X射线衍射(XRD)结合透射电镜(TEM)方法研究了两种厚度Co:BaTiO3纳米复合薄膜的晶体结构,当薄膜厚度约为30 nm时,薄膜为单一择优取向;当薄膜厚度约为100nm时,薄膜呈多晶结构.原子力显微镜(AFM)分析表明,当膜厚为30nm时,薄膜呈现明显的方形晶粒.采用紫外光电子能谱(UPS)研究了Co的价态和Co:BaTiO3纳米复合薄

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