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脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定

胡德志

脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定

胡德志
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-04-20
  • 修回日期:  2008-06-13
  • 刊出日期:  2009-01-05

脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定

  • 1. 华北科技学院基础部,三河 065201

摘要: 为了提高脉冲激光制备薄膜的质量,准确掌握电声弛豫时间是关键,它对脉冲激光脉宽和能量密度的选取起着决定性的作用. 文中以铝靶材为例,利用经典的双温方程通过时域有限差分法(FDTD)得到电子、离子亚系统的温度随时间和位置演化的图像,进而得到电声弛豫时间的准确值. 这样便能准确划分热烧蚀和非平衡烧蚀,从而更好地控制激光的烧蚀过程. 同时找出了电声弛豫时间随激光脉宽以及能量密度变化的规律.

English Abstract

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