搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

开花 李运超 郭德成 李双 李之杰

斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

开花, 李运超, 郭德成, 李双, 李之杰
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  3396
  • PDF下载量:  922
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2008-02-17
  • 修回日期:  2008-06-10
  • 刊出日期:  2009-07-20

斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

  • 1. 内蒙古民族大学物理与电子信息学院,通辽 028043
    基金项目: 

    内蒙古自治区教育厅科研基金(批准号:NJ04062)和内蒙古民族大学博士启动基金(批准号:BS183)资助的课题.

摘要: 采用分子动力学(MD)模拟方法,从原子尺度上研究了离子束辅助沉积(IBAD)类金刚石(DLC)薄膜过程中离子束入射角对薄膜结构的影响.重点讨论了不同的离子束入射角所对应的薄膜表面模型,平均密度和sp3键含量.结果表明,离子束斜入射加强了入射原子的水平动能,从而加强了原子水平迁移;Ar离子斜入射时C原子迁移率均比垂直入射大,薄膜密度和sp3键含量都比垂直入射小.不同的离子束入射角随着到达比和入射能的变化,对薄膜结构的影响不同.离子束斜入射时可以得到不同结构的膜.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回