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外加磁场对碰撞射频鞘层离子能量分布的影响

邹秀 邹滨雁 刘惠平

外加磁场对碰撞射频鞘层离子能量分布的影响

邹秀, 邹滨雁, 刘惠平
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-11-22
  • 修回日期:  2008-12-23
  • 刊出日期:  2009-09-20

外加磁场对碰撞射频鞘层离子能量分布的影响

  • 1. 大连交通大学理学院,大连 116028
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 10605008)资助的课题.

摘要: 采用双流体模型,数值研究入射到射频鞘层偏压电极上的离子能量分布.研究结果表明:磁场在改变离子运动状态的同时,调控着基板上的离子能量分布,使之在垂直基板方向和平行基板方向间转移.

English Abstract

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