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氧化处理的蓝宝石基片上沉积的ZnO/MgO多量子阱的结构及光学性质研究

栾田宝 刘明 鲍善永 张庆瑜

氧化处理的蓝宝石基片上沉积的ZnO/MgO多量子阱的结构及光学性质研究

栾田宝, 刘明, 鲍善永, 张庆瑜
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-06-01
  • 修回日期:  2009-06-30
  • 刊出日期:  2010-03-15

氧化处理的蓝宝石基片上沉积的ZnO/MgO多量子阱的结构及光学性质研究

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10774018)、国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB616902)资助的课题.

摘要: 采用射频反应磁控溅射的方法,在经过氧化处理的Al2O3(0001)基片上制备了具有良好调制结构的ZnO/MgO多层膜量子阱.利用X射线反射率测量、X射线衍射分析、电子探针显微分析、原子力显微镜、透射光谱以及光致发光光谱等表征技术,研究了ZnO/MgO多量子阱的结构、表面形貌和光致发光等特性.XRD以及扫描的结果表明多层膜样品具有高c轴择优取向并且与蓝宝石基片有良好的外延关系.通过X射线反射率测量的结果得到多量子阱的调制周期,结合电子

English Abstract

参考文献 (17)

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