初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响

丁学成; 傅广生; 梁伟华; 褚立志; 邓泽超; 王英龙

doi:10.7498/aps.59.3331

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采用蒙特-卡罗(Monte Carlo)模拟方法，研究了初始溅射粒子密度对其传输中的密度和速度分布以及环境气体密度分布的影响.结果表明，随着初始溅射粒子密度增大，烧蚀粒子和环境气体高密度峰的交叠区离开靶的最大距离减小，被衬底反弹后，距靶的最小距离减小，烧蚀粒子的速度分布随初始溅射粒子密度增大而变宽，当初始溅射粒子密度大于8.33×1025 m-3时，出现速度劈裂现象.所得结论为进一步定量研究纳米晶粒的成核机理提供了基础.

关键词:

作者及机构信息

1.
河北大学物理科学与技术学院，保定 071002

基金项目: 国家自然科学基金（批准号：10774036），河北省自然科学基金（批准号： E2008000631），河北省教育厅（批准号：Z2007222），河北省光电材料重点实验室和河北大学自然科学基金资助的课题.

参考文献

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[14]	］Neogi A, Mishra A, Thareja 1998 Appl. Phys. 83 2381
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施引文献

[1]	［1］Douglas H L， Geohegan D B, Purtzky A A 1996 Science 273 898
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初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响

1. 河北大学物理科学与技术学院，保定 071002

基金项目:

国家自然科学基金（批准号：10774036），河北省自然科学基金（批准号： E2008000631），河北省教育厅（批准号：Z2007222），河北省光电材料重点实验室和河北大学自然科学基金资助的课题.

收稿日期: 2009-06-29

修回日期: 2009-07-25

刊出日期: 2010-05-15

摘要: 采用蒙特-卡罗(Monte Carlo)模拟方法，研究了初始溅射粒子密度对其传输中的密度和速度分布以及环境气体密度分布的影响.结果表明，随着初始溅射粒子密度增大，烧蚀粒子和环境气体高密度峰的交叠区离开靶的最大距离减小，被衬底反弹后，距靶的最小距离减小，烧蚀粒子的速度分布随初始溅射粒子密度增大而变宽，当初始溅射粒子密度大于8.33×1025 m-3时，出现速度劈裂现象.所得结论为进一步定量研究纳米晶粒的成核机理提供了基础.

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