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采用蒙特-卡罗(Monte Carlo)模拟方法，研究了初始溅射粒子密度对其传输中的密度和速度分布以及环境气体密度分布的影响.结果表明，随着初始溅射粒子密度增大，烧蚀粒子和环境气体高密度峰的交叠区离开靶的最大距离减小，被衬底反弹后，距靶的最小距离减小，烧蚀粒子的速度分布随初始溅射粒子密度增大而变宽，当初始溅射粒子密度大于8.33×1025 m-3时，出现速度劈裂现象.所得结论为进一步定量研究纳米晶粒的成核机理提供了基础.
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关键词:
- Monte Carlo模拟 /
- 烧蚀粒子 /
- 密度分布 /
- 速度分布
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