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溶胶-凝胶法制备Li-N双掺p型ZnO薄膜的结构、光学和电学性能

高书霞 王德义 李刚 赵鸣

溶胶-凝胶法制备Li-N双掺p型ZnO薄膜的结构、光学和电学性能

高书霞, 王德义, 李刚, 赵鸣
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  • 采用溶胶-凝胶法在n型Si(100)衬底上沉积Li-N双掺杂ZnO薄膜,经X射线衍射和扫描电镜图片分析,所制备薄膜具有多晶纤锌矿结构和高的c轴择优取向.室温下霍尔效应测试结果显示Li-N双掺杂ZnO薄膜具有p型导电特性.在Li掺杂量为15.0at%,Li/N(摩尔比)为1∶1,700℃退火等优化条件下得到的最佳电学性能结果是:电阻率为0.34 Ω·cm,霍尔迁移率为16.43 cm2/V·s,载流子浓度为2.79×1019 cm-3
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50602037)资助的课题.
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    [1]Guo X L,Choi J H,Tabata H,Kawai T 2001 Jpn. J. Appl. Phys. 40 L177

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    ]Devy F C,Barreau N,Kessler J 2008 Thin Solid Films 516 7094

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    ]Wang Y Z,Chu B L,He Q Y 2008 Vacuum 82 1229

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    ]Xu F,Lu Y,Xie Y,Liu Y F 2009 Vacuum 83 360

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    ]Chakraborty A,Mondal T,Bera S K,Sen S K,Ghosh R,Paul G K 2008 Materials Chemistry and Physics 112 162

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    ]Xue S W,Zu X T,Zhou W L,Deng H X,Xiang X,Zhang L,Deng H 2008 J. Alloys Compd. 448 21

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    ]Tsay C Y,Cheng H C,Tung Y T,Tuan W H,Lin C K 2008 Thin Solid Films. 517 1032

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    ]Hwangbo S,Lee Y J,Hwang K S 2008 Ceramics International 34 1237

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出版历程
  • 收稿日期:  2009-06-12
  • 修回日期:  2009-09-22
  • 刊出日期:  2010-05-15

溶胶-凝胶法制备Li-N双掺p型ZnO薄膜的结构、光学和电学性能

  • 1. (1)烟台大学光电信息技术学院,烟台 264005; (2)烟台大学环境与材料工程学院,烟台 264005
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50602037)资助的课题.

摘要: 采用溶胶-凝胶法在n型Si(100)衬底上沉积Li-N双掺杂ZnO薄膜,经X射线衍射和扫描电镜图片分析,所制备薄膜具有多晶纤锌矿结构和高的c轴择优取向.室温下霍尔效应测试结果显示Li-N双掺杂ZnO薄膜具有p型导电特性.在Li掺杂量为15.0at%,Li/N(摩尔比)为1∶1,700℃退火等优化条件下得到的最佳电学性能结果是:电阻率为0.34 Ω·cm,霍尔迁移率为16.43 cm2/V·s,载流子浓度为2.79×1019 cm-3

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