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AlN/NbN纳米结构多层膜的共格异结构外延生长研究

喻利花 ,  薛安俊 ,  董松涛 ,  许俊华

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AlN/NbN纳米结构多层膜的共格异结构外延生长研究

喻利花, 薛安俊, 董松涛, 许俊华
物理学报. 2010, 59(6): 4150-4155.
doi: 10.7498/aps.59.4150.
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  • 摘要

    采用射频磁控溅射法制备了NbN，AlN单层膜及不同调制周期的AlN/NbN纳米结构多层膜,采用X射线衍射仪、小角度X射线反射仪和高分辨透射电子显微镜等对薄膜进行了表征.结果表明：单层膜AlN为六方结构,NbN为面心立方结构；AlN/NbN多层膜中AlN为六方结构,NbN为面心立方结构，界面处呈共格状态，其共格关系为c-NbN（111）面平行于h-AlN（0002）面，晶格错配度为013%.热力学计算表明:AlN/NbN多层膜中不论AlN层与NbN层的厚度如何,AlN层均不会形成亚稳的立方AlN，而是形成

    作者及机构信息

    • 1.

      江苏科技大学材料科学与工程学院,江苏省先进焊接技术重点实验室,镇江 212003

    • 基金项目: 国家自然科学基金（批准号:　50574044）和江苏省自然科学基金（批准号:　BK2008240）资助的课题.

    参考文献

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    ］Wang Y Y, Wong M S, Chia W J, Rechner J, Sproul W D 1998 J. Vac. Sci. Technol. A 16 2913
    • 引用本文:
    shu
    Citation:
    shu
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-09-09
  • 修回日期:  2009-12-01
  • 刊出日期:  2010-03-05
物理学报. 2010, 59(6): 4150-4155.
doi: 10.7498/aps.59.4150.

AlN/NbN纳米结构多层膜的共格异结构外延生长研究

  • 1. 江苏科技大学材料科学与工程学院,江苏省先进焊接技术重点实验室,镇江 212003
    基金项目: 

    国家自然科学基金（批准号:　50574044）和江苏省自然科学基金（批准号:　BK2008240）资助的课题.

  • 收稿日期:  2009-09-09
  • 修回日期:  2009-12-01
  • 刊出日期:  2010-03-05

摘要: 采用射频磁控溅射法制备了NbN，AlN单层膜及不同调制周期的AlN/NbN纳米结构多层膜,采用X射线衍射仪、小角度X射线反射仪和高分辨透射电子显微镜等对薄膜进行了表征.结果表明：单层膜AlN为六方结构,NbN为面心立方结构；AlN/NbN多层膜中AlN为六方结构,NbN为面心立方结构，界面处呈共格状态，其共格关系为c-NbN（111）面平行于h-AlN（0002）面，晶格错配度为013%.热力学计算表明:AlN/NbN多层膜中不论AlN层与NbN层的厚度如何,AlN层均不会形成亚稳的立方AlN，而是形成

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