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AlN/NbN纳米结构多层膜的共格异结构外延生长研究

喻利花 薛安俊 董松涛 许俊华

AlN/NbN纳米结构多层膜的共格异结构外延生长研究

喻利花, 薛安俊, 董松涛, 许俊华
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  • 采用射频磁控溅射法制备了NbN,AlN单层膜及不同调制周期的AlN/NbN纳米结构多层膜,采用X射线衍射仪、小角度X射线反射仪和高分辨透射电子显微镜等对薄膜进行了表征.结果表明:单层膜AlN为六方结构,NbN为面心立方结构;AlN/NbN多层膜中AlN为六方结构,NbN为面心立方结构,界面处呈共格状态,其共格关系为c-NbN(111)面平行于h-AlN(0002)面,晶格错配度为013%.热力学计算表明:AlN/NbN多层膜中不论AlN层与NbN层的厚度如何,AlN层均不会形成亚稳的立方AlN,而是形成
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 50574044)和江苏省自然科学基金(批准号: BK2008240)资助的课题.
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    ]Wang Y Y, Wong M S, Chia W J, Rechner J, Sproul W D 1998 J. Vac. Sci. Technol. A 16 2913

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出版历程
  • 收稿日期:  2009-09-09
  • 修回日期:  2009-12-01
  • 刊出日期:  2010-03-05

AlN/NbN纳米结构多层膜的共格异结构外延生长研究

  • 1. 江苏科技大学材料科学与工程学院,江苏省先进焊接技术重点实验室,镇江 212003
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 50574044)和江苏省自然科学基金(批准号: BK2008240)资助的课题.

摘要: 采用射频磁控溅射法制备了NbN,AlN单层膜及不同调制周期的AlN/NbN纳米结构多层膜,采用X射线衍射仪、小角度X射线反射仪和高分辨透射电子显微镜等对薄膜进行了表征.结果表明:单层膜AlN为六方结构,NbN为面心立方结构;AlN/NbN多层膜中AlN为六方结构,NbN为面心立方结构,界面处呈共格状态,其共格关系为c-NbN(111)面平行于h-AlN(0002)面,晶格错配度为013%.热力学计算表明:AlN/NbN多层膜中不论AlN层与NbN层的厚度如何,AlN层均不会形成亚稳的立方AlN,而是形成

English Abstract

参考文献 (32)

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