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单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究

郭剑川 左玉华 张云 张岭梓 成步文 王启明

单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究

郭剑川, 左玉华, 张云, 张岭梓, 成步文, 王启明
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-07-28
  • 修回日期:  2009-10-29
  • 刊出日期:  2010-07-15

单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究

  • 1. 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京 100086
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB302802,2007CB613404)资助的课题.

摘要: 本文优化设计和外延生长了一种单行载流子(UTC)光电探测器有源区结构,并且采用微电子工艺制备了台面尺寸为30 μm的UTC光电探测器.同时,采用了漂移-扩散模型对该有源区结构进行了理论模拟,从载流子浓度和空间电场角度重点分析研究了空间电荷屏蔽效应对UTC光电探测器直流饱和特性影响的物理机理.UTC光电探测器理论模拟结果与实测数据基本相符.

English Abstract

参考文献 (16)

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