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非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合

牟宗信 牟晓东 贾莉 王春 董闯

非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合

牟宗信, 牟晓东, 贾莉, 王春, 董闯
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  • 非平衡磁控靶表面电场和磁场相互正交构成磁阱结构,磁控靶和与之平行的偏压基片之间形成了另一种势阱结构,等离子体静电波动在这两种势阱结构中形成耦合共振.采用Langmuir探针研究等离子体中参数和浮置电位信号的功率谱密度.典型放电条件下两种势阱结构中的本征频率分别约为30—50 kHz和10—20 kHz,两种势阱条件下根据声驻波共振模式计算的电子温度数值与实验结果相符合.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50407015)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-14
  • 修回日期:  2010-01-31
  • 刊出日期:  2010-10-15

非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院,三束材料改性教育部重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50407015)资助的课题.

摘要: 非平衡磁控靶表面电场和磁场相互正交构成磁阱结构,磁控靶和与之平行的偏压基片之间形成了另一种势阱结构,等离子体静电波动在这两种势阱结构中形成耦合共振.采用Langmuir探针研究等离子体中参数和浮置电位信号的功率谱密度.典型放电条件下两种势阱结构中的本征频率分别约为30—50 kHz和10—20 kHz,两种势阱条件下根据声驻波共振模式计算的电子温度数值与实验结果相符合.

English Abstract

参考文献 (12)

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