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激发频率对高氢稀释下纳米晶硅薄膜生长特性的影响

宋捷 郭艳青 王祥 丁宏林 黄锐

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激发频率对高氢稀释下纳米晶硅薄膜生长特性的影响

宋捷, 郭艳青, 王祥, 丁宏林, 黄锐

Influence of excitation frequency on the growth properties of nanocrystalline silicon films with high hydrogen dilution

Song Jie, Guo Yan-Qing, Wang Xiang, Ding Hong-Lin, Huang Rui
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-11-08
  • 修回日期:  2010-01-06
  • 刊出日期:  2010-05-05

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