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单室沉积高效非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究

张晓丹 郑新霞 王光红 许盛之 岳强 林泉 魏长春 孙建 张德坤 熊绍珍 耿新华 赵颖

单室沉积高效非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究

张晓丹, 郑新霞, 王光红, 许盛之, 岳强, 林泉, 魏长春, 孙建, 张德坤, 熊绍珍, 耿新华, 赵颖
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-12-29
  • 修回日期:  2010-02-02
  • 刊出日期:  2010-11-15

单室沉积高效非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究

  • 1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 天津,300071
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436, 2009AA050602),天津科技支撑项目(批准号:08ZCKFGX03500),国家重点基础研究发展计划 (批准号:2006CB202602,2006CB202603),国家自然科学基金(批准号:60976051),科技部国际合作重点项目(批准号:2006DFA62390,2009DFA62580)和教育部新世纪人才(批准号:NCET-08-0295)资助的课题.

摘要: 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在前期单室沉积的微晶硅薄膜太阳电池和非晶硅/微晶硅叠层太阳电池研究的基础上,通过对微晶硅底电池本征层硅烷浓度的优化,获得了初始效率达到11.02%(电池面积1.0 cm2)的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池.同时,100 cm2的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的组件效率也达到了9.04%.

English Abstract

参考文献 (11)

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