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射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究

王培君 江美福 杜记龙 戴永丰

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射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究

王培君, 江美福, 杜记龙, 戴永丰

Frictional properties of fluorinated diamond-like carbon films prepared by radio frequency reactive magnetron sputtering

Wang Pei-Jun, Jiang Mei-Fu, Du Ji-Long, Dai Yong-Feng
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-12-17
  • 修回日期:  2010-05-06
  • 刊出日期:  2010-06-05

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