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电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究

高碧荣 刘悦

电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究

高碧荣, 刘悦
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-04-22
  • 修回日期:  2010-06-24
  • 刊出日期:  2011-02-05

电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 116024

摘要: 基于漂移扩散近似,在轴对称假设下,对电子回旋共振等离子体源腔室内的等离子体建立了二维流体模型.采用有限差分法对所建立的模型进行了自洽数值模拟,得到了等离子体密度均匀性随时间演化的数值结果.通过对数值结果的分析,研究了背景气体压强、微波功率和磁场线圈电流对等离子体密度均匀性的影响.研究表明,在电离初期,电子密度的均匀性好于离子密度的均匀性.在电离后期,离子密度的均匀性好于电子密度的均匀性.随着背景气体压强的增大,电子密度和离子密度的均匀性都在增加,且离子密度的均匀性增加的更快.随着微波功率的增大,电子密度和

English Abstract

参考文献 (14)

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