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电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究

高碧荣 刘悦

电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究

高碧荣, 刘悦
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  • 基于漂移扩散近似,在轴对称假设下,对电子回旋共振等离子体源腔室内的等离子体建立了二维流体模型.采用有限差分法对所建立的模型进行了自洽数值模拟,得到了等离子体密度均匀性随时间演化的数值结果.通过对数值结果的分析,研究了背景气体压强、微波功率和磁场线圈电流对等离子体密度均匀性的影响.研究表明,在电离初期,电子密度的均匀性好于离子密度的均匀性.在电离后期,离子密度的均匀性好于电子密度的均匀性.随着背景气体压强的增大,电子密度和离子密度的均匀性都在增加,且离子密度的均匀性增加的更快.随着微波功率的增大,电子密度和
    [1]

    Asmussen J 1989 J. Vac. Sci. Technol. A 7 883

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    Erckmann V, Gasparino U 1994 Plasma Phys. Controlled Fusion 36 1869

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    England A C 1984 IEEE Trans. Plasma Sci. 12 124

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    Abrakov V V, Akulina D K, Andryukhina E D, Batanov G M, Berezhetskij M S, Danilkin I S, Donskaya N P, Fedyanin O I, Gladkov G A, Grebenshchikov S E, Harris J H, Kharchev N K, Kholnov Y V, Kolik L V, Kovrizhnykh L M, Larionova N F, Letunov A A, Likin K M, Lyon J F, Meshcheryakov A I, Nechaev Y I, Petrov A E, Sarksyan K A, Sbitnikova I S 1997 Nucl. Fusion 37 233

    [7]

    Gong Y, Wen X J, Zhang P Y, Deng X L 1997 Acta Phys. Sin. 46 2376 (in Chinese) [宫 野、温晓军、张鹏云、邓新绿 1997 物理学报 46 2376]

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    Muta H,Itagaki N, Kawai Y 2002 Vacuum 66 209

    [10]

    Muta H,Koga M,Itagaki N,Kawai Y 2003 Surf. Coat. Technol. 171 157

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    Chen J F, Wu X Q, Wang D Q, Ding Z F, Ren Z X 1999 Acta Phys. Sin. 48 1309 (in Chinese) [陈俊芳、吴先球、王德秋、丁振峰、任兆杏 1999 物理学报 48 1309]

    [12]

    Fu S L, Chen J F, Wu X Q, Wang N X, Zhang M P, Hu S J 2006 Plasma Sci. Tech. 8 300 (in Chinese) [符斯列、陈俊芳、吴先球、王宁星、张茂平、胡社军 2006 等离子体科学与技术 8 300]

    [13]

    Liu Y, Wang Y X, Cui S Y, Wang X D, Zheng S, Wang X G 2006 Vacuum 80 1367

    [14]

    Porteous R K, Wu H M, Graves D B 1994 Plasma Sources Sci. Technol. 3 25

  • [1]

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    Porteous R K, Wu H M, Graves D B 1994 Plasma Sources Sci. Technol. 3 25

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-04-22
  • 修回日期:  2010-06-24
  • 刊出日期:  2011-02-05

电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 116024

摘要: 基于漂移扩散近似,在轴对称假设下,对电子回旋共振等离子体源腔室内的等离子体建立了二维流体模型.采用有限差分法对所建立的模型进行了自洽数值模拟,得到了等离子体密度均匀性随时间演化的数值结果.通过对数值结果的分析,研究了背景气体压强、微波功率和磁场线圈电流对等离子体密度均匀性的影响.研究表明,在电离初期,电子密度的均匀性好于离子密度的均匀性.在电离后期,离子密度的均匀性好于电子密度的均匀性.随着背景气体压强的增大,电子密度和离子密度的均匀性都在增加,且离子密度的均匀性增加的更快.随着微波功率的增大,电子密度和

English Abstract

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