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退火对AlTiN多层薄膜结构及力学性能影响

罗庆洪 娄艳芝 赵振业 杨会生

退火对AlTiN多层薄膜结构及力学性能影响

罗庆洪, 娄艳芝, 赵振业, 杨会生
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  • 使用TiAl合金靶,利用中频反应磁控溅射系统,通过交替改变氮气流量的方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了一组氮含量周期性改变的AlTiN多层薄膜,并分别在600,700和800 ℃下真空退火热处理. 利用X射线衍射仪、场发射扫描电镜和高分辨透射电镜等方法研究了沉积态和退火态AlTiN多层薄膜组织和微观结构;AlTiN多层薄膜的力学和膜基结合性能用纳米压痕硬度仪、摩擦磨损仪以及划痕试验仪得到. 研究表明,采用沉积过程中周期改变氮气流量的方法,可以制备出稳定的、力学性能良好的AlTiN多层薄膜. 80
    [1]

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    Volinsky A A, Moody N R, Gerberich W W 2002 Acta Mater 50 441

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    Volinsky A A, Moody N R, Gerberich W W 2002 Acta Mater 50 441

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-07-27
  • 修回日期:  2010-09-20
  • 刊出日期:  2011-03-05

退火对AlTiN多层薄膜结构及力学性能影响

  • 1. (1)北京航空材料研究院,北京 100095; (2)北京科技大学材料物理与化学系,北京 100083

摘要: 使用TiAl合金靶,利用中频反应磁控溅射系统,通过交替改变氮气流量的方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积了一组氮含量周期性改变的AlTiN多层薄膜,并分别在600,700和800 ℃下真空退火热处理. 利用X射线衍射仪、场发射扫描电镜和高分辨透射电镜等方法研究了沉积态和退火态AlTiN多层薄膜组织和微观结构;AlTiN多层薄膜的力学和膜基结合性能用纳米压痕硬度仪、摩擦磨损仪以及划痕试验仪得到. 研究表明,采用沉积过程中周期改变氮气流量的方法,可以制备出稳定的、力学性能良好的AlTiN多层薄膜. 80

English Abstract

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