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纳米VOx薄膜在空气中的电学特性退化研究

罗振飞 吴志明 许向东 王涛 蒋亚东

纳米VOx薄膜在空气中的电学特性退化研究

罗振飞, 吴志明, 许向东, 王涛, 蒋亚东
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-03-18
  • 修回日期:  2010-09-06
  • 刊出日期:  2011-06-15

纳米VOx薄膜在空气中的电学特性退化研究

  • 1. 电子科技大学光电信息学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 成都 610054

摘要: 采用射频磁控溅射法在氮化硅衬底上沉积纳米VOx薄膜,利用X射线衍射、原子力显微镜分别对薄膜的结晶形态及表面形貌进行表征.研究了纳米VOx薄膜在空气中长时间暴露后的方块电阻、热滞回线等电学特性的变化情况,并分析这些变化给器件带来的影响.利用X射线光电子能谱仪、傅里叶变换红外光谱仪分析对比新制与久置薄膜的组分及分子结构差异.研究表明,暴露在空气中的纳米VOx薄膜方块电阻增大是因为低价钒离子被吸附氧原子氧

English Abstract

参考文献 (18)

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